Назад
Ермакова Е.Н.
Румянцев Ю.М.
Косинова М.Л.
Оптические и механические свойства пленок SiCxNy, осажденных из триметилфенилсилана
Докладчик:
Косинова М.Л.
Файл тезисов:
Ermakova.doc
К списку докладов
Комментарии
Имя:
Код подтверждения: