Румянцев, Юрий Михайлович
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
http://www.che.nsk.su
Россия, 630090, Новосибирcк, пр. ак. Лаврентьева, 3
Телефон: +7(383) 330-94-90, Факс: +7(383) 330-94-89
Доклад
- Ермакова Е.Н.*, Румянцев Ю.М.*, Косинова М.Л.*
Оптические и механические свойства пленок SiCxNy, осажденных из триметилфенилсилана
*Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН (Новосибирcк), Россия