Ермакова Е.Н.   Румянцев Ю.М.   Косинова М.Л.  

Оптические и механические свойства пленок SiCxNy, осажденных из триметилфенилсилана

Докладчик: Косинова М.Л.

Комментарии

Имя:
Код подтверждения: