Терехов В.А.   Паринова Е.В.   Ундалов Ю.К.   Трапезникова И.Н.   Теруков Е.И.  

Определение степени окисления кремния и содержания кластеров кремния в пленках SiOx методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии

Докладчик: Паринова Е.В.

Комментарии

Имя:
Код подтверждения: