Ундалов, Юрий Константинович
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
http://www.ioffe.ru/
Россия, 194021, Санкт-Петербург, Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26
Телефон: (812)247-2245, Факс: (812)247-1017
Доклад
- Терехов В.А.*, Паринова Е.В.**, Ундалов Ю.К.***, Трапезникова И.Н.***, Теруков Е.И.***
Определение степени окисления кремния и содержания кластеров кремния в пленках SiOx методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
*ФГБОУ ВПО "Воронежский Государственный Университет" (Воронеж), Россия
**ФГБОУ ВПО "Воронежский Государственный Университет" (Воронеж), Россия
***Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН (Санкт-Петербург), Россия