Якимов, Евгений Борисович
Заведующий лабораторией, Доктор физико-математических наукИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
http://www.iptm.ru/index.ru.html
Россия, 142432, Черноголовка, Черноголовка, ул. академика Осипьяна, 6
Список докладов
- Орлов В.И.*, Феклисова О.В.**, Якимов Е.Б.***
Влияние меди на рекомбинационную активность протяжённых дефектов в кремнии
*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия - Поликарпов М.А.*, Якимов Е.Б.**
Исследование свойств полупроводниковых преобразователей на основе кремния для бета-вольтаического элемента
*Национальный Исследовательский Центр "Курчатовский институт"
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия - Орлов В.И.*, Феклисова О.В.**, Якимов Е.Б.***
Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном крем-нии методами EBIC и LBIC
*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия