Якимов, Евгений Борисович

Заведующий лабораторией, Доктор физико-математических наук

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
http://www.iptm.ru/index.ru.html
Россия, 142432, Черноголовка, Черноголовка, ул. академика Осипьяна, 6

Список докладов

1. Орлов В.И.^*, Феклисова О.В.^**, Якимов Е.Б.^***
   Влияние меди на рекомбинационную активность протяжённых дефектов в кремнии
   ^*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
   ^**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
   ^***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
   
2. Поликарпов М.А.^*, Якимов Е.Б.^**
   Исследование свойств полупроводниковых преобразователей на основе кремния для бета-вольтаического элемента
   ^*Национальный Исследовательский Центр "Курчатовский институт"
   ^**Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
   
3. Орлов В.И.^*, Феклисова О.В.^**, Якимов Е.Б.^***
   Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном крем-нии методами EBIC и LBIC
   ^*Институт физики твердого тела РАН (Черноголовка), Россия
   ^**Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия
   ^***Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка), Россия
   

К списку участников