Назад
Теруков, Евгений Иванович
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
http://www.ioffe.ru/
Россия, 194021, Санкт-Петербург, Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26
Телефон: (812)247-2245, Факс: (812)247-1017
Доклад
Терехов В.А.
*
,
Паринова Е.В.
**
,
Ундалов Ю.К.
***
,
Трапезникова И.Н.
***
,
Теруков Е.И.
***
Определение степени окисления кремния и содержания кластеров кремния в пленках SiOx методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
*
ФГБОУ ВПО "Воронежский Государственный Университет" (Воронеж), Россия
**
ФГБОУ ВПО "Воронежский Государственный Университет" (Воронеж), Россия
***
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН (Санкт-Петербург), Россия
К списку участников