Matyushkin, Igor Valerievich
Head of Laboratory, Ph.D. in Physics and MathematicsОАО "НИИ молекулярной электроники"
http://www.mikron.ru/
Russia, 124460, Moscow, Зеленоград, 1й Западный проезд, 12/1
Phone: +7(495)2297279, Fax: +7(495)2297280
Report
- Matyushkin I.V.*, Коробов С.В.*, Михайлов А.Н.**, Тетельбаум Д.И.**
Cellular automata simulation of the processes of secondary defect formation under ion implantation
*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Moscow), Russia
**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Nizhniy Novgorod), Russia