Matyushkin, Igor Valerievich

Head of Laboratory, Ph.D. in Physics and Mathematics

ОАО "НИИ молекулярной электроники"
http://www.mikron.ru/
Russia, 124460, Moscow, Зеленоград, 1й Западный проезд, 12/1
Phone: +7(495)2297279, Fax: +7(495)2297280

Report

• Matyushkin I.V.^*, Коробов С.В.^*, Михайлов А.Н.^**, Тетельбаум Д.И.^**
  Cellular automata simulation of the processes of secondary defect formation under ion implantation
  ^*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Moscow), Russia
  ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Nizhniy Novgorod), Russia
  

To participants list