Golishnikov, Alexander Anatolievich

Head of Laboratory, Ph.D. in Technical Science

Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ
Russia, 124498 , Moscow, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д.5, к. 7237
Phone: + 7 499 734-4521 , Fax: + 7 495 913-2192

Report

• Demidov Y.A.^*, Чаплыгин Ю.А.^*, Shevyakov V.I.^**, Belov A.N.^**, Golishnikov A.A.^***
  Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
  ^*МИЭТ (Moscow), Russia
  ^**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Moscow), Russia
  ^***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Moscow), Russia
  

To participants list