Back
Demidov, Yuri Alekcandrovith
МИЭТ
Russia, Moscow
Report
Demidov Y.A.
*
,
Чаплыгин Ю.А.
*
,
Shevyakov V.I.
**
,
Belov A.N.
**
,
Golishnikov A.A.
***
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
*
МИЭТ (Moscow), Russia
**
Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Moscow), Russia
***
Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Moscow), Russia
To participants list