Демидов Ю.А. Чаплыгин Ю.А. Шевяков В.И. Белов А.Н. Голишников А.А.
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
Докладчик: Шевяков В.И.
Файл тезисов: | Тезисы_Шевяков.doc |
К списку докладов
Файл тезисов: | Тезисы_Шевяков.doc |