Демидов Ю.А. Чаплыгин Ю.А. Шевяков В.И. Белов А.Н. Голишников А.А.
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
Докладчик: Шевяков В.И.
| Файл тезисов: | Тезисы_Шевяков.doc |
К списку докладов
- Общая информация
- Организаторы
- Организационный комитет
- Важные даты
- Место проведения
- Контактная информация
- Представление материалов
- Научные направления
- Регистрационный взнос
- Рамочная программа
- Участники
- Доклады
- Регистрация/Вход
К списку докладов