Махвиладзе Т.М. Минушев А. Сарычев М.Е.
СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
Докладчик: Махвиладзе Т.М.
| Файл тезисов: | Тезис Кр-2014-CMP.doc |
К списку докладов
- Общая информация
- Организаторы
- Организационный комитет
- Важные даты
- Место проведения
- Контактная информация
- Представление материалов
- Научные направления
- Регистрационный взнос
- Рамочная программа
- Участники
- Доклады
- Регистрация/Вход
К списку докладов