Котерева Т.В. Гавва В.А. Гусев А.В.
Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния.
Докладчик: Котерева Т.В.
Файл тезисов: | Abstrakt_Kotereva.doc |
К списку докладов
Файл тезисов: | Abstrakt_Kotereva.doc |