Румянцев Ю. Плеханов А. Файнер Н. Максимовский е. Шаяпов В. Юшина И.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния – перспективные материалы для опто – и наноэлектроники
Докладчик: Файнер Н.
| Файл тезисов: | ФайнерНИ_тезисы _SiCxNyOz_H.doc |
К списку докладов