Юрасов Д.В.   Дроздов М.Н.   Шалеев М.В.   Юнин П.А.  

Формирование SiGe гетероструктур с высокой долей Ge и их селективное легирование сегрегирующими примесями

Докладчик: Юрасов Д.В.

Комментарии

Имя:
Код подтверждения: