Никулина Л.Д.   Сысоев С.В.   Цырендоржиева И.П.   Гостевский Б.А.   Рахлин В.И.   Косинова М.Л.   Кузнецов Ф.А.  

Влияние структурных особенностей кремний- и борорганических соединений на физико-химические свойства прекурсоров для синтеза пленок SiCxNy и SiBxCyNz

Докладчик: Косинова М.Л.

Комментарии

Имя:
Код подтверждения: