Демидов Ю.А.   Чаплыгин Ю.А.   Шевяков В.И.   Белов А.Н.   Голишников А.А.  

Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия

Докладчик: Шевяков В.И.

Комментарии

Имя:
Код подтверждения: