Назад
Махвиладзе Т.М.
Минушев А.
Сарычев М.Е.
СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
Докладчик:
Махвиладзе Т.М.
Файл тезисов:
Тезис Кр-2014-CMP.doc
К списку докладов
Комментарии
Имя:
Код подтверждения: