Файзуллаев, Рустам Фатхуллаевич
Ташкентский Государственный Технический Университет
Узбекистан, 100095, Ташкент, Ташкент, Университетская, 2
Список докладов
- Рысбаев А.С.*, Хужаниёзов Ж.Б.**, Рахимов А.М.*, Файзуллаев Р.Ф.*, Бекпулатов И.Р.*
Особенности спектров характеристических потерь энергии электронов в ионно имплантированных слоях кремния
*Ташкентский Государственный Технический Университет (Ташкент), Узбекистан
**Ташкентский Государственный Технический Университет (Ташкент), Узбекистан - Рысбаев А.С.*, Хужаниёзов Ж.Б.**, Рахимов А.М.*, Файзуллаев Р.Ф.*, Бекпулатов И.Р.*, Рысбаева З.А.*
Формирование тонких наноразмерных плёнок силицидов на поверхности монокристалла Si
*Ташкентский Государственный Технический Университет (Ташкент), Узбекистан
**Ташкентский Государственный Технический Университет (Ташкент), Узбекистан