Спесивцев, Евгений Васильевич
Объединенный институт физики полупроводников СО РАН
Россия, 630090, Новосибирск, пр. ак. Лаврентьева, 13
Телефон: +7(383) 333-39-50
Доклад
- Семенова О.И.*, Козельская А.И.**, Спесивцев Е.В.***
Механические напряжения в плазмохимическом SiNx:H
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
**Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Россия
***Объединенный институт физики полупроводников СО РАН (Новосибирск), Россия