Минушев, Айрат
Физико-технологический институт РАН
Россия, Москва
Доклад
- Махвиладзе Т.М.*, Минушев А.*, Сарычев М.Е.**
СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия