Гавва, Владимир Александрович
Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН
Россия, Нижний Новгород
Список докладов
- Котерева Т.В.*, Гавва В.А.*, Гусев А.В.*
Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния.
*Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия - Денисов С.А.*, Гавва В.А.**, Гусев А.В.**, Дроздов М.Н.***, Ежевский А.А.*, Деточенко А.П.*, Шенгуров В.Г.*
Рост эпитаксиальных слоев моноизотопного кремния методом сублимационной моле-кулярно-лучевой эпитаксии
*Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
**Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия
***Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия