Голишников, Александр Анатольевич
Заведующий лабораторией, Кандидат технических наукНаучно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ
Россия, 124498 , Москва, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д.5, к. 7237
Телефон: + 7 499 734-4521 , Факс: + 7 495 913-2192
Доклад
- Демидов Ю.А.*, Чаплыгин Ю.А.*, Шевяков В.И.**, Белов А.Н.**, Голишников А.А.***
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
*МИЭТ (Москва), Россия
**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Москва), Россия
***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия