Ярыкин, Николай Алексеевич
Старший научный сотрудник, Кандидат физико-математических наукИнститут проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
http://www.ipmt-hpm.ac.ru
Россия, Черноголовка
Доклад
- Ярыкин Н.А.*
Медь в кремнии: комплексообразование и взаимодействие с радиационными дефектами
*Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (Черноголовка), Россия