Прокофьева, Виолетта Константиновна

Доклад

• Найда Г.А.^*, Прокофьева В.К.^*
  Влияние дефектов структуры кремниевой подложки на формирование эпитаксиального слоя AlN
  ^*Национальгный исследовательский университет"МИЭТ" (Москва), Россия