Шалеев, Михаил Владимирович

Список докладов

1. Юрасов Д.В.^*, Новиков А.В.^**, Шалеев М.В.^*, Юнин П.А.^*
   Влияние знака деформации на рост SiGe напряженных структур
   ^*Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^**Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
   
2. Байдакова Н.А.^*, Новиков А.В.^**, Шалеев М.В.^***, Юрасов Д.В.^***
   Оптические свойства Ge(Si) наноостровков, заключенных между напряженными слоями Si, сформированных на подложках sSOI и релаксированных SiGe буферах
   ^*Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^**Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
   ^***Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия
   
3. Юрасов Д.В.^*, Дроздов М.Н.^*, Шалеев М.В.^*, Юнин П.А.^*
   Формирование SiGe гетероструктур с высокой долей Ge и их селективное легирование сегрегирующими примесями
   ^*Институт физики микроструктур РАН (Нижний Новгород), Россия