Спесивцев, Евгений Васильевич

Доклад

• Семенова О.И.^*, Козельская А.И.^**, Спесивцев Е.В.^***
  Механические напряжения в плазмохимическом SiNx:H
  ^*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
  ^**Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Россия
  ^***Объединенный институт физики полупроводников СО РАН (Новосибирск), Россия