Махвиладзе, Тариэль Михайлович

Список докладов

1. Махвиладзе Т.М.^*, Сарычев М.Е.^**
   Влияние точечных дефектов на скорость коалесценции кислородсодержащих преципитатов в кремнии
   ^*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
   ^**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
   
2. Махвиладзе Т.М.^*, Сарычев М.Е.^**
   Деформационно-кинетическая модель процесса коалесценции кислородных преципитатов в кремнии
   ^*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
   ^**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
   
3. Махвиладзе Т.М.^*, Минушев А.^*, Сарычев М.Е.^**
   СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
   ^*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
   ^**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия