Котерева, Татьяна Владимировна

Доклад

• Котерева Т.В.^*, Гавва В.А.^*, Гусев А.В.^*
  Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния.
  ^*Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия