Назад
Зюльков, Иван Юрьевич
Инженер-конструктор
ОАО "Научно исследовательский институт молекулярной электроники"
Россия, Москва
Доклад
Зюльков И.Ю.
*
,
Гикавый А.Я.
**
Эпитаксиальный рост напряженного SiGe в атмосфере дисилана и дигермана
*
ОАО "Научно исследовательский институт молекулярной электроники" (Москва), Россия
**
Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC) (Лёвен), Бельгия
К списку участников