Путря, Михаил Георгиевич

Доклад

• Путря М.Г.^*, Панкратов О.В.^*, Голишников А.А.^**, Рыбачек Е.Н.^**
  Метод формирования кремниевых нанопроволочных ионно-чувствительных транзисторных структур
  ^*Национальный исследовательский университет МИЭТ (Москва), Россия
  ^**Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Москва), Россия