Матюшкин, Игорь Валерьевич

Заведующий лабораторией, Кандидат физико-математических наук

ОАО "НИИ молекулярной электроники"
http://www.mikron.ru/
Россия, 124460, Москва, Зеленоград, 1й Западный проезд, 12/1
Телефон: +7(495)2297279, Факс: +7(495)2297280

Доклад

• Матюшкин И.В.^*, Коробов С.В.^*, Михайлов А.Н.^**, Тетельбаум Д.И.^**
  Клеточно-автоматное моделирование процессов вторичного дефектообразования при ионной имплантации
  ^*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Москва), Россия
  ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия
  

К списку участников