Терехов В.А. Паринова Е.В. Ундалов Ю.К. Трапезникова И.Н. Теруков Е.И.
Определение степени окисления кремния и содержания кластеров кремния в пленках SiOx методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
Reporter: Паринова Е.В.
| Abstracts file: | Parinova_abstract.doc |
To reports list