Семенова, Ольга Ивановна

Заведующий лабораторией, Кандидат химических наук

Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
http://www.isp.nsc.ru/
Россия, 630090, Новосибирск, пр. ак. Лаврентьева, 13
Телефон: +7(383) 333-27-66, Факс: +7(383) 333-27-71

Список докладов

1. Yu Y.^*, Семенова О.И.^**
   Strained Silicon in Electronics and Photonics
   ^*Institute of Semiconductors CAS (Пекин), Китай
   ^**Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
   
2. Семенова О.И.^*, Козельская А.И.^**, Спесивцев Е.В.^***
   Механические напряжения в плазмохимическом SiNx:H
   ^*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
   ^**Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Россия
   ^***Объединенный институт физики полупроводников СО РАН (Новосибирск), Россия
   
3. Косинова М.Л.^*, Ермакова Е.Н.^*, Семенова О.И.^**
   Оптические покрытия на основе фаз системы Si-N-C-H
   ^*Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН (Новосибирcк), Россия
   ^**Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
   

К списку участников