Коробов, Сергей Владимирович

Report

• Matyushkin I.V.^*, Коробов С.В.^*, Михайлов А.Н.^**, Тетельбаум Д.И.^**
  Cellular automata simulation of the processes of secondary defect formation under ion implantation
  ^*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Moscow), Russia
  ^**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Nizhniy Novgorod), Russia