Никулина Л.Д. Сысоев С.В. Цырендоржиева И.П. Гостевский Б.А. Рахлин В.И. Kosinova M. Кузнецов Ф.А.
Влияние структурных особенностей кремний- и борорганических соединений на физико-химические свойства прекурсоров для синтеза пленок SiCxNy и SiBxCyNz
Reporter: Kosinova M.
Abstracts file: | КосиноваМЛ_3.doc |
To reports list