Ермакова, Евгения Николаевна
Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry of SB RAS
http://www.che.nsk.su
Russia, 630090, Novosibirsk, Acad. Lavrentieva ave., 3
Phone: +7(383) 330-94-90, Fax: +7(383) 330-94-89
Reports list
- Ермакова Е.Н.*, Румянцев Ю.М.*, Kosinova M.*
Оптические и механические свойства пленок SiCxNy, осажденных из триметилфенилсилана
*Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry of SB RAS (Novosibirsk), Russia - Kosinova M.*, Ермакова Е.Н.*, Semenova O.I.**
Оптические покрытия на основе фаз системы Si-N-C-H
*Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry of SB RAS (Novosibirsk), Russia
**A.V. Rzhanov Institute of Semiconductor Physics of SB RAS (Novosibirsk), Russia