Demidov, Yuri Alekcandrovith
МИЭТ
Russia, Moscow
Report
- Demidov Y.A.*, Чаплыгин Ю.А.*, Shevyakov V.I.**, Belov A.N.**, Golishnikov A.A.***
Особенности нанопрофилирования кремния плазменным травлением через твердую маску пористого оксида алюминия
*МИЭТ (Moscow), Russia
**Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (Moscow), Russia
***Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ (Moscow), Russia