Minushev, Airat
Физико-технологический институт РАН
Russia, Moscow
Report
- Makhviladze T.*, Minushev A.*, Сарычев М.Е.**
Advanced model of the copper CMP process for silicon nanotransistor technology
*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia