Сарычев, Михаил Евгеньевич

Reports list

1. Makhviladze T.^*, Сарычев М.Е.^**
   A strain-kinetic model for coalescence of oxygen precipitates in silicon
   ^*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
   ^**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
   
2. Makhviladze T.^*, Minushev A.^*, Сарычев М.Е.^**
   Advanced model of the copper CMP process for silicon nanotransistor technology
   ^*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
   ^**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
   
3. Makhviladze T.^*, Сарычев М.Е.^**
   Influence of point defects on the coalescence rate of oxygen-containing precipitates in silicon
   ^*Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia
   ^**Физико-технологический институт РАН (Moscow), Russia