Shabunin, Artem
EngineerНациональный исследовательский Томский политехнический университет
Russia, Томск
Report
- Nikolaev M.V.*, Yurjeva A.**, Shabunin A.***
Magnetron sputtering system with liquid phase target
*Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Tomsk), Russia
**Tomsk Polytechnic University (Tomsk), Russia
*** Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск ), Russia